| 設備名 | 波長分散型蛍光Ｘ線分析装置（WDX） |
|---|---|
| メーカー | オックスフォード・インストゥルメンツ |
| 型式 | Wave |
| 仕様 |
|
| 使用用途 | SEM観察領域（微小領域）での、元素の定性/定量分析 |
| 設備名 | 波長分散型蛍光Ｘ線分析装置（WDX） |
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| メーカー | オックスフォード・インストゥルメンツ |
| 型式 | Wave |
| 仕様 |
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| 使用用途 | SEM観察領域（微小領域）での、元素の定性/定量分析 |
WDXは、試料表面の微小部の元素分析を行う装置です。
走査電子顕微鏡と同様、電子ビームを試料にあてると、特性Ｘ線が試料から飛び出します。この特性Ｘ線は元素の種類により固有の波長を有しています。これらの特性Ｘ線を分光することにより、試料に含まれている元素を知ることができ、定量分析も可能となります。
マッピング機能により、元素の分布状態を確認することができます。
WDXではEDXよりも高いスペクトル分解能が得られるため、構成元素のエネルギー値が近接している試料や、より微量成分の分析に適しています。