分析技術 TECHNOLOGY

エネルギー分散型 X線分析装置(EDX)

設備名エネルギー分散型 蛍光X線分析装置(EDX)
メーカーEDAX
型式Element
仕様
  • [検出可能元素] Be(4)~Am(95)
  • [検出器] Si3N4(シリコンナイトライド)
  • [分解能] 129eV
  • [分析機能] ポイントアナリシス:マルチポイント分析
           マッピング: スぺクトラルマップ
           ラインスキャン: 線幅ラインスキャン  
使用用途SEM観察領域(微小領域)での、元素の定性/定量分析
エネルギー分散型 蛍光X線分析装置(EDX)

EDXは、試料表面の微小部の元素分析を行う装置です。
走査電子顕微鏡と同様、電子ビームを試料にあてると、特性X線が試料から飛び出します。この特性X線は元素の種類により固有の波長を有しています。これら特性X線を検出することにより、試料に含まれている元素を知ることができ、それぞれのエネルギー強度を測定することで定量分析も可能となります。
マッピング機能により、元素の分布状態を確認することができます。