分析技術 TECHNOLOGY

走査型電子顕微鏡(SEM)

設備名走査型電子顕微鏡(SEM)
メーカーHITACHI
型式SU3500
仕様
  • [試料サイズ] φ200mm
  • [観察モード] 高真空モード、低真空モード
  • [分解能]  
    二次電子像3.0nm(AccV30kV、WD=5mm、高真空モード)
    反射電子像4.0nm(AccV30kV、WD=5mm、低真空モード)
  • [倍率] ×5~×300,000
  • [像の種類] 二次電子像、反射電子像、TOPO像
使用用途物質表面の高倍率観察
走査型電子顕微鏡(SEM)

電子線を試料に照射し、放出される二次電子や反射電子などを検出することで、高倍率で試料表面の観察を行います。