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走査型電子顕微鏡(SEM)
走査型電子顕微鏡(SEM)
設備名
走査型電子顕微鏡(SEM)
メーカー
HITACHI
型式
SU3500
仕様
[試料サイズ] φ200mm
[観察モード] 高真空モード、低真空モード
[分解能]
二次電子像3.0nm(AccV30kV、WD=5mm、高真空モード)
反射電子像4.0nm(AccV30kV、WD=5mm、低真空モード)
[倍率] ×5~×300,000
[像の種類] 二次電子像、反射電子像、TOPO像
使用用途
物質表面の高倍率観察
電子線を試料に照射し、放出される二次電子や反射電子などを検出することで、高倍率で試料表面の観察を行います。
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