分析技術 TECHNOLOGY

クロスセクション ポリッシャー(CP)

設備名クロスセクション ポリッシャー(CP)
メーカーJEOL
型式SM-09010, SM-09020, IB-19530CP
仕様
  • [試料サイズ] 最大W11㎜×H10㎜×T2㎜
  • [研磨範囲] 最大 幅800μm×深さ350μm
  • [ミリングスピード] 約500µm/h(加速電圧:6KV、試料Si)
使用用途断面試料の作製
クロスセクション ポリッシャー(CP)

試料がわずかに出るように試料面上に遮蔽板をセットします。その上からアルゴンイオンビームを垂直に照射すると、遮蔽板からはみ出ている試料の一部(照射部)が削られていきます。イオン照射を受ける領域と、遮蔽板で遮蔽される領域の境界に沿って断面が形成されます。
柔らかい銅、アルミ、金、はんだなどは、機械研磨するとつぶれたり、キズが残ってしまうため、イオン研磨を行って凹凸のない平滑な断面を作成します。
高精度な断面観察や、精確なめっき膜厚測定に使用します。