スマートフォン版を表示

装置紹介

レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡 / 装置紹介
 

原理 

  短波長レーザー光源と白色光源により、反射光量・色調情報を取得する。

    Z軸方向にスキャンを繰り返し、得られたデータを元に3次元画像を構築する。

特徴

  SEM並みの鮮明な画像をカラーで観察でき、非接触で高精度な3次元測定が可能。

用途

  バンプ高さ、バンプ径、配線幅、段差測定などに利用

ページTOPへ