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半導体ESD(静電気)対策

●当たり前のことを、当たり前にできる製造力が品質をつくります。
半導体製造での当たり前の管理としてESD(静電気)対策があります。今回は、このESD対策について説明をします。

★ESDとは・・・
Electro(電気)-Static(静)-Discharge(放電)の略であり静電気放電を表します。

★ESDが半導体に影響を及ぼす・・・
ESDは物体が動き回ることで発生し、物体に電気が溜まります。(静電気の電圧は通常で2000〜5000V、時には数万Vにもなるそうです。)溜まった電気が物体に接触することで一気に放電します。
放電される物体が半導体だったらどうなるでしょうか?
  半導体には非常に細かい回路が組み込まれています。
  静電気が半導体に放電すると、回路が傷付いたり、断線したりします。
  表面上では全く異常がなくても、確認が出来ない内部で異常が発生している恐れがあります。
  静電気から半導体を守るため、我々は静電気対策に取り組んでいます。

★ESD(静電気)対策取り組み・・・
 当社の対策事例は、一般的なものばかりですが、日々半導体へのESD対策に取り組んでいます。
静電気は湿度と密接な関係を持っており、空気が乾いた状態(湿度の低い時)に発生しやすく、空気が湿っている状態(湿度が高い時)で発生しにくくなります。
半導体を扱うためクリーンルーム設備を設け、静電気滞留を防止するよう常に適度な湿度に管理することで、ESD対策の一環としています。
設備管理だけではなく、クリーンルーム内入室者全員が導電性素材のクリーンスーツを着用しています。クリーンルーム内の作業台にアース線を設け作業時リストバンドとアース線を接続する事で人体からの静電気を取り除いています。入室前に静電気チェッカーでリストバンドのチェック後入室することでリストバンドの性能を保っています。


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ウェハへの無電解バンプめっき技術

テーマ:心ときめく技術力    【 2009年06月03日 】