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半導体ウェハへの悪影響とクリーンルーム管理

●塵埃
 半導体ウェハの電極パッド上に塵埃が付着すると、電極汚染によるめっき未着の発生や電極がショートする事で電極が破壊され製品として使用出来なくなる事もあります。クリーンルーム内の塵埃を管理するため、空気清浄度・陽圧の管理が必要となります。
・空気清浄度とは、空気がどれだけ綺麗かを空気中に含まれる粒子(ゴミ・ホコリ等)の個数で分けられます。
 例) クラス100・・・30cm四方の箱に0.5μm以上の塵埃が100個以内
    クラス1000・・・30cm四方の箱に0.5μm以上の塵埃が1000個以内
 例)の様にクラスの数が小さい程清浄度が高く管理が厳しくなります。
・陽圧とは、大気圧が高い状態、逆に低い状態を陰圧と言います。
空気は、大気圧が高い方から低い方へと流れます。
これを利用し、クリーンルーム内を陽圧にする事で、外部からの塵埃を含んだ空気が流れ込むのを防いでいます。又、空気清浄度・陽圧の管理だけではなく、塵埃が外部からの進入を防ぐため、4種類のフィルターを設置し、クリーンルーム内の清浄度を保持しています。
   
●静電気
 静電気によって半導体ウェハの回路が破壊される事があります。
室内の湿度が低すぎると静電気が発生しやすく、湿度が高すぎると結露が発生しやすくなります。 湿度を管理する上で温度とのバランスが重要になるため、湿度だけでは無く温度の管理も必要となります。

以上の事から、半導体ウェハを扱うにあたりクリーンルーム設備が必要であり、クリーンルームと言った特別な空間を保つために管理を行っています。


リンク
ウェハへの無電解バンプめっき技術

テーマ:心ときめく技術力    【 2009年04月09日 】