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分析機器紹介 第1回 @AES(オージェ電子分光分析装置) その1

原理
【原理】

分析機器紹介シリーズ第1回目です。
まず1つ目に登場する装置はAESです。今回から2回にわたってご紹介します。

装置概要
    試料最表面の元素分析を行います

解析用途
    ○酸化膜、蒸着・スパッタなどの薄膜の有無・およその厚みの測定
    ○0.1μm以下の異物・構造部の分析 
    ○微小異物・部位などの成分特定

特徴
    ○EDXよりも微小エリア・微量成分・試料最表面の定性分析ができます
    ○FE-SEMが搭載されており、鮮明な画像にてピンポイントに測定します
    ○Arエッチングにより、深さ方向への元素分布測定も可能です

測定範囲 0.01μm〜100μm×100μm 深さ0〜約10nm
試料寸法 〜Φ20mm 高さ 〜10mm
※導電性の無い試料は解析結果が得られない場合があります

次回はAESの解析事例をご紹介します。


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kiyokawaめっきクリニック

テーマ:キラりと光る分析力    【 2012年04月12日 】