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TSVめっき技術

TSVめっき技術の事例
【TSVめっき技術の事例】
  • ◎清川独自めっき技術の場合 【◎清川独自めっき技術の場合】
  • ×通常の電気めっきの場合 【×通常の電気めっきの場合】

【TSVめっき技術の特徴】
その@
 エッジ部分へのめっき析出を抑制する。
そのA
 ビア底からのめっきボトムアップ析出またはスルーホール中心からの成長を狙う。

【TSVめっき技術の用途】
 イメージセンサやメモリーなどのSiP(System in Package)の貫通電極として利用

※TSVとは、半導体ダイ3次元(3D)積層技術「スルー・シリコン・ビア(TSV:Through-Silicon Via)」


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TSVめっき技術

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ウェハへの無電解バンプめっき技術

テーマ:心ときめく技術力    【 2009年07月07日 】