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今さら聞けないめっき技術:‘フォトリソ’って何?PRAT@

Q)質問 (1)
半導体や基板の配線加工でフォトリソという言葉を聞きますが、フォトリソはどのような技術でしょうか?また、フォトリソはどのような特徴があるのでしょうか?

A)答
正式にはフォトリソグラフィーと言い、感光性のレジストを基材に塗布し露光することで、露光部と未露光部で所望のパターンを形成する技術になります。
特徴としては微細加工に向いており、半導体ICの配線はナノオーダーでの配線が施されており、フォトリソ技術が使用されています。
nmオーダー配線やμmオーダーの配線形成するには、使用する感光性レジストや露光波長により決定されます。


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今さら聞けないめっき技術:‘フォトリソ’って何?

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テーマ:今さら聞けないめっき技術    【 2013年09月11日 】