分析技術 TECHNOLOGY

電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

設備名電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
メーカーJEOL
型式JSM-6700F
仕様
  • [試料サイズ] φ26mm
  • [加速電圧] 0.5~30kV
  • [分解能] 1.0nm(AccV15kV)2.2nm(AccV1kV)
  • [倍率] ×25~19,000(LMモード)×100~650,000(SEMモード)
  • [像の種類] 二次電子像、反射電子像、TOPO像
使用用途物質表面の高倍率観察
電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

FEエミッタ先端部を、引き出し電極で作られる強電界の中に位置させて、この電界の働きによりエミッタ先端から電子を加熱することなく放出させます。そして、放出した電子を加速させるための加速電極によってFE電子銃が構成されます。放射電子のエネルギー幅が小さいので、超高分解能観察に適しています。また、強励磁コニカル対物レンズを装備しており、これはインレンズ対物レンズと同等以上の性能を持っています。