分析技術 TECHNOLOGY

エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)

設備名エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)
メーカーSHIMADZU
型式μEDX-1200
仕様
  • [検出可能元素] Al~U
  • [検出器] Si(Li)半導体
  • [1次X線フィルタ] 5種自動交換方式
  • [X線集光方式] ポリキャピラリ
  • [分析径] 50μm(@8.0keV)
  • [試料最大寸法] W200×D300×H400mm
使用用途元素の定性・定量・マッピング分析(微小部分の棲み分け分析)
エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)

試料の元素分析に加え、マッピング機能を搭載しています。さらにX線を効率よく集めて試料に照射するポリキャピラリを採用しています。50μm φの極微小エリアに絞った分析によりこれまで測定が出来なかった微小部品内微小部分の環境規制物質スクリーニング分析が可能になりました。
例えば、チップ部品の抵抗部と電極部を別々に測定することができるので、環境規制物質の含有確認をエリア毎に分析できます。