| 設備名 | エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置（μEDX） |
|---|---|
| メーカー | SHIMADZU |
| 型式 | μEDX-1200 |
| 仕様 |
|
| 使用用途 | 元素の定性・定量・マッピング分析（微小部分の棲み分け分析） |
| 設備名 | エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置（μEDX） |
|---|---|
| メーカー | SHIMADZU |
| 型式 | μEDX-1200 |
| 仕様 |
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| 使用用途 | 元素の定性・定量・マッピング分析（微小部分の棲み分け分析） |
試料の元素分析に加え、マッピング機能を搭載しています。さらにX線を効率よく集めて試料に照射するポリキャピラリを採用しています。５０μm φの極微小エリアに絞った分析によりこれまで測定が出来なかった微小部品内微小部分の環境規制物質スクリーニング分析が可能になりました。
例えば、チップ部品の抵抗部と電極部を別々に測定することができるので、環境規制物質の含有確認をエリア毎に分析できます。